ドライエッチング装置(Telius)定期点検作業 1式 の類似案件

ドライエッチング装置(Telius) 装置ソフトウェアバージョンアップ作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
登録日 2022/07/06
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 1,545,563円
ドライエッチング装置(Telius)の上部RF電源交換作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
契約日 2019/07/02
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 4,780,063円
ドライエッチング装置(Telius)のTMP及び排気系オーバーホール作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
契約日 2018/08/01
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 5,970,000円
ドライエッチング装置(Telius)PM1ゲートバルブ交換作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
登録日 2024/07/11
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 1,138,000円
ドライエッチング装置(Telius)LID昇降機構更新及び不具合個所修理作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
契約日 2017/07/27
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 3,700,000円
ドライエッチング装置(TEL製Telius-305SS)SE2000センサー部修理作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
契約日 2015/11/09
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 1,255,000円
ドライエッチング装置(TEL製Telius-305SS)PM1用RF電源修理作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
契約日 2015/12/02
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 2,787,000円
ドライエッチング装置(TEL製Telius-305SS)SE2000センサー部修理作業 一式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式
入札結果
契約日 2015/11/09
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 1,255,000円
ドライエッチング装置(TEL製 Telius-305SS)PM1用RF電源修理作業一式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式
入札結果
契約日 2015/12/02
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 2,787,000円
ドライエッチング装置(東京エレクトロン株式会社製Telius- 305SS)真空排気系修理作業1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
契約日 2015/08/19
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 5,500,000円
酸化膜エッチング装置(Telius)のLMArmロボット更新作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
契約日 2019/08/21
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 12,000,000円
ドライエッチング装置(東京エレクトロン株式会社製Telius-305SS)真空排気系保守パーツ 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
契約日 2015/07/03
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 4,000,000円
酸化膜エッチャー(Telius) 定期点検作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
契約日 2017/10/11
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 2,000,000円
酸化膜エッチャー(Telius)TMP不具合対応作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
契約日 2021/05/11
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 1,255,063円
酸化膜エッチャー(Telius) ウイング周りメンテナンス作業1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
契約日 2016/12/05
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 2,000,000円
酸化膜エッチャー(Telius)のチャンバーメンテナンス作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
登録日 2023/10/06
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 1,331,563円
酸化膜エッチャー(Telius) ゲートバルブ交換作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
契約日 2024/01/10
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 1,544,163円
酸化膜エッチャー(Telius)LLMリークトラブル対応作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県,東京都,神奈川県
入札方式 随意契約
入札結果
契約日 2023/03/07
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 2,117,633円
酸化膜エッチャー(Telius)ローダーアームロボット更新作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
契約日 2016/02/08
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 12,000,000円
酸化膜エッチャー(Telius)の TMP及びAPCバルブオーバーホール作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
契約日 2017/07/31
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 3,970,000円
酸化膜エッチャー(Telius)EPDセンサー不具合対応作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
登録日 2023/03/07
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 2,251,563円
酸化膜エッチャー(Telius) 下部マッチャーパーツ 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
契約日 2019/05/07
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 2,641,500円
酸化膜エッチャー(Telius) ECラック 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
契約日 2017/11/21
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 2,750,000円
酸化膜エッチャー(Telius)RF電源 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
契約日 2020/03/27
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 4,472,500円
酸化膜エッチャー(Telius) ウイング周りメンテナンス作業
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
契約日 2016/12/05
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 2,000,000円
酸化膜エッチャー(Telius)ローダーアームロボット更新作業
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式
入札結果
契約日 2016/02/08
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 12,000,000円
酸化膜エッチャー(Telius) I/Oボード 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
登録日 2023/07/07
落札会社 東京エレクトロン(株)
落札金額 1,839,000円
ドライエッチング装置(Centura)のドライ真空ポンプ修理作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
契約日 2017/12/26
落札会社 (株)ウィックス
落札金額 2,117,000円
ドライエッチング装置(Centura)のドライ真空ポンプ修理作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 随意契約
入札結果
契約日 2019/11/22
落札会社 (株)ウィックス
落札金額 1,667,000円
ドライエッチング装置(Centura)のドライ真空ポンプ修理作業 1式
発注機関 産業技術総合研究所
都道府県 茨城県
入札方式 企画競争
入札結果
契約日 2018/08/02
落札会社 (株)ウィックス
落札金額 1,667,000円

ドライエッチング装置(Telius) 装置ソフトウェアバージョンアップ作業 1式

発注機関産業技術総合研究所
入札方式随意契約
都道府県 茨城県

入札結果

落札会社東京エレクトロン(株)
落札金額1,545,563円
契約日2022/05/30
登録日2022/07/06

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